Изучение нового метода микросверления стекла с использованием фемтосекундного лазера в гигагерцовом режиме.
Исследовательская группа по взаимодействию лазера с веществом в Институте интенсивных лазеров и приложений (CELIA) Университета Бордо, Франция, исследовала новый метод микросверления стекла с использованием фемтосекундного лазера в гигагерцовом режиме.
Опубликовано в журнале International Journal of Extreme Manufacturing , исследовательская группа использовала фемтосекундный лазер от Amplitude, работающий в гигагерцовом режиме, для изучения нового метода микрообработки стекла, который позволяет сверлить удлиненные отверстия без конусности с гладкими внутренними стенками без трещин. Обычно при лазерном сверлении стандартными одиночными фемтосекундными импульсами получаются конические отверстия строго ограниченной длины и шероховатой внутренней поверхности.
Этот новый режим взаимодействия лазера с веществом позволяет напрямую сверлить отверстия с высоким соотношением сторон за один шаг без какого-либо химического травления. Выяснилось, что выбор параметров лазерной вспышки очень важен для достижения выдающегося качества микрообработки обрабатываемых структур. Режим фемтосекундного лазера с тактовой частотой может проложить путь для новых приложений, таких как микроэлектроника, где кремниевые вставки, вероятно, будут заменены стеклянными вставками.
Теги: лазер, микроэлектроника
